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瑞士VAT阀04.2 高真空传输阀与L-VAT

【概要描述】瑞士VAT阀04.2 高真空传输阀与L-VAT
04.2 高真空传输阀与L-VAT
适用于装载锁和工艺室隔离

型号: 点击量:1506 厂商性质:代理商 更新日期:2024-12-11
产品详情
品牌其他品牌流动方向单向
3C阀门类别工业应用领域能源,电子,汽车,电气,综合

瑞士VAT阀04.2 高真空传输阀与L-VAT

瑞士VAT阀04.2 高真空传输阀与L-VAT

在腐蚀性工艺环境下提供可靠隔离采用 L-VAT 技术的 04.2 传输阀特别适合腐蚀性工艺,如蚀刻或 CVD。L-VAT 技术通过单轴气动驱动器提供阀板的 J 型运动。在 J 型运动中,阀板在不接触阀体的情况下垂直移动到关闭位置,在最后的运动中被水平推到阀座上(密封件以固定力接触阀座,该固定力与所连接的空气压力相关)。     

为大程度地减少粒子的产生和生成,阀板配备了硫化密封件。尽管标准 O 型密封圈可作为一种选择,但这是一种比标准 O 型密封圈更可靠、更耐用的密封解决方案。轴馈通件由高度耐用的金属焊接波纹管密封。

断电时,04.2 系列可通过选配的止回阀气动锁定在关闭和打开位置。

04.2 高真空传输阀与L-VAT设计用于延长免维护运行(在维护前开关次数 ≤ 300 万)。

04.2 系列已经安装在数百个各种半导体生产流程的要求苛刻的应用中,证明了其的可靠性。04.2 系列具有坚固的设计,减少了维护量,使维护更方便,在各个方面都令人信服。

04.2 高真空传输阀与L-VAT始终根据客户规格要求量身定制。尽管如此,四个基础设计类型已预定义:两种具有不同的后侧开口的阀门类型和两种带有内腔或外腔阀座的嵌入型阀门类型。

阀体材料选择有硬质阳极氧化铝或镀镍铝。阀板和阀盖密封件采用氟橡胶或全氟橡胶材料。可根据要求使用其他密封材料。

瑞士VAT阀04.2 高真空传输阀与L-VAT

04.2 高真空传输阀与L-VAT的主要特点

特点:

  • 可在腐蚀性工艺条件下实现可靠运行

  • 平滑且低冲击的运动

  • 采用避免粒子生成和产生的 L-VAT 技术

  • 波纹管密封轴馈通件

  • 免维护周期延长

优势:

  • 正常运行时间长/性能不受限

  • 运行快速

  • 运行成本低

  • 瑞士VAT阀04.2 高真空传输阀与L-VAT

技术数据
尺寸
46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23")
驱动器气动双作用,带位置指示器
阀体材料
馈通件
波纹管
泄漏率阀体< 1 × 10-9 mbar ls-1
 阀座< 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围
1 × 10-9 mbar to 1.2 bar(绝对压强)
压差阀板上≤ 1.2 bar
 打开时≤ 30 mbar
首维护前开关次数
≥ 300万次
温度阀体≤ 50℃ 至 ≤ 120℃
 阀板≤ 50℃ 至 ≤ 120℃
加热和冷却速率
≤ 40 °C h-1
阀座/阀板温差
< 40 °C
材料阀体、阀板、检修盖EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211)
 轴、波纹管端件AISI 316L (1.4435)
 波纹管AISI 633 (AM 350)
密封阀盖氟橡胶
 阀板氟橡胶
安装位置
驱动器可向下安装
脉冲电磁阀
24 VDC,2.5 W(可根据要求提供其他值)
位置指示器:触点额定值电压≤ 50 VDC
 电流≤ 250 mA
 电源≤ 10 W
 连接9 针 D 形超小型连接器
压缩空气连接未配备电磁阀内部螺纹 ⅛“ ISO/NPT
 配备电磁阀内部螺纹 M5



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